사업화 유망기술 목록
10
다중 펄싱 플라즈마원 및 분할 전극 기반 대면적 균일 고종횡비·저손상 식각장비
- 카테고리
- 기계 · 설비
- ㄷ
- 2022.05.23
- 조회수
- 1,680
다중 펄싱 플라즈마원 및 분할 전극 기반 대면적 균일 고종횡비·저손상 식각장비