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기본정보
| 장비사진 |
|
장비명(한글) | 후드 |
|---|---|---|---|
| 장비명(영문) | Chemical Processing Hood | ||
| 장비분류 | 단결정가공 | ||
| 도입년도 | 2012 | ||
| NTIS번호 | |||
| 장비위치 | 방사선기기팹센터 2층 09호 | 장비상태 | 사용가능 |
| 기본사용료(천원) | 5500 | 전문가의뢰 | NO |
| 장비사진파일 | 9. 후드.JPG (1416650 byte) | ||
상세정보
| 사양 | - electronic system: 220V 1ph 60 Hz, 30A button panel - FFU system: 99.999 - 풍량 및 풍압: 20CCM/MAX - 배관 line: C-PVC pipe supply, drain |
|---|---|
| 용도 | 방사선센서용 화합물 반도체 에칭, 세척 및 화학적 처리 |
장비담당자정보
| 장비담당자명 | 박정민 | 장비담당전화 | 063-570-3707 |
|---|---|---|---|
| 장비담당부서 | 방사선이용·운영부 | 장비담당직위 | 선임연구원 |
| 장비담당팩스 | 장비담당메일 | jmp1024@kaeri.re.kr |