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기본정보
| 장비사진 |
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장비명(한글) | THM성장로 |
|---|---|---|---|
| 장비명(영문) | THM Furnace | ||
| 장비분류 | 단결정성장 | ||
| 도입년도 | 2013 | ||
| NTIS번호 | NFEC-2013-08-182369 | ||
| 장비위치 | 방사선기기팹센터 1층 09호 | 장비상태 | 사용가능 |
| 기본사용료(천원) | 18000 | 전문가의뢰 | YES |
| 장비사진파일 | 5. THM성장로.JPG (1989336 byte) | ||
상세정보
| 사양 | - 온도: 20~1200도 - melting zone: 4 zone - heater moving system - auto controller & display |
|---|---|
| 용도 | 화합물 반도체 단결정 성장 |
장비담당자정보
| 장비담당자명 | 박정민 | 장비담당전화 | 063-570-3707 |
|---|---|---|---|
| 장비담당부서 | 방사선이용·운영부 | 장비담당직위 | 선임연구원 |
| 장비담당팩스 | 장비담당메일 | jmp1024@kaeri.re.kr |