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기본정보
| 장비사진 |
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장비명(한글) | 엘립소미터 |
|---|---|---|---|
| 장비명(영문) | Spectroscopic Ellipsometry | ||
| 장비분류 | 성능평가 | ||
| 도입년도 | 2016 | ||
| NTIS번호 | NFEC-2016-01-207164 | ||
| 장비위치 | 방사선기기팹센터 2층 05호 | 장비상태 | 사용가능 |
| 기본사용료(천원) | 128800 | 전문가의뢰 | NO |
| 장비사진파일 | 27. Sepctroscopic ellipsometery.JPG (1577068 byte) | ||
상세정보
| 사양 | - spectral range: 190-2100 nm (150 W Xe lamp with N2) - monochrometer system for UV-VIS range - 190-880 nm (stray light rejection <0.5% at 190 nm) - twin PMT detectors for highest sensitivity and dynamic range - computer controlled variable angle goniometer - angle range 35~90 deg - allows variable angle spectroscopic ellipsometry |
|---|---|
| 용도 | 방사선센서용 섬광체 및 화합물 반도체 소재의 유전률, 굴절률, capacitance 등 측정 |
장비담당자정보
| 장비담당자명 | 김영수 | 장비담당전화 | 063-570-3707 |
|---|---|---|---|
| 장비담당부서 | 방사선이용·운영부 | 장비담당직위 | 선임연구원 |
| 장비담당팩스 | 장비담당메일 | yskim75@kaeri.re.kr |