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기본정보
장비사진 | 장비명(한글) | 탁상형 전자현미경 | |
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장비명(영문) | Tabletop SEM | ||
장비분류 | 성능평가 | ||
도입년도 | 2015 | ||
NTIS번호 | NFEC-2015-12-206581 | ||
장비위치 | 방사선기기팹센터 2층 05호 | 장비상태 | 사용가능 |
기본사용료(천원) | 58300 | 전문가의뢰 | YES |
장비사진파일 | 24. 탁상형전자현미경.JPG (1783310 byte) |
상세정보
사양 | - 배율: 15~60,000x (디지털줌: 2x, 4x) - 관찰조건: 5kV, 15kV, EDX - 관찰모드: 표준, charge-up reduction mode - 이미지 모드: COMPO/shadow1/shadow2/TOP0 - EDX: elemental mapping, point&identification, line scan |
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용도 | 방사선센서용 섬광체 및 화합물 반도체 소재의 표면 미세구조 및 성분분석(EDX) 특성평가 |
장비담당자정보
장비담당자명 | 김영수 | 장비담당전화 | 063-570-3702 |
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장비담당부서 | 방사선이용·운영부 | 장비담당직위 | 선임연구원 |
장비담당팩스 | 장비담당메일 | yskim75@kaeri.re.kr |