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기본정보
| 장비사진 |
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장비명(한글) | 비접촉 반사형 박막 두께 측정기 |
|---|---|---|---|
| 장비명(영문) | non-contact spectroscopic reflectometry | ||
| 장비분류 | 성능평가 | ||
| 도입년도 | 2015 | ||
| NTIS번호 | NFEC-2015-11-205851 | ||
| 장비위치 | 방사선기기팹센터 1층 07호 | 장비상태 | 사용가능 |
| 기본사용료(천원) | 54600 | 전문가의뢰 | YES |
| 장비사진파일 | 22. 비접촉 spectroscopic reflectometry.JPG (1566230 byte) | ||
상세정보
| 사양 | - sample size: up to 12 inch wafer - thickness range: 100 A~50 um - thin film stack: up to 3 layers - transmittance module (투과도) transmittance range: 420~780 nm |
|---|---|
| 용도 | 방사선센서용 화합물 반도체 소재 및 소자 광학적 특성평가 |
장비담당자정보
| 장비담당자명 | 강창구 | 장비담당전화 | 063-570-3706 |
|---|---|---|---|
| 장비담당부서 | 방사선기기연구부 | 장비담당직위 | 선임연구원 |
| 장비담당팩스 | 장비담당메일 | cgkang@kaeri.re.kr |