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기본정보
| 장비사진 |
|
장비명(한글) | 포토마스크 제작장치 |
|---|---|---|---|
| 장비명(영문) | Mask maker | ||
| 장비분류 | 반도체공정 | ||
| 도입년도 | 2015 | ||
| NTIS번호 | |||
| 장비위치 | 방사선기기FAB. | 장비상태 | 사용가능 |
| 기본사용료(천원) | 전문가의뢰 | NO | |
| 장비사진파일 | 42포토마스크 제작장치.JPG (98606 byte) | ||
상세정보
| 사양 | ● Address grid [nm]: 50, 125, 250, 500 ● Minimum structure size[um]: 0.8 ● Write speed [mm2/min.]: 3.0, 36, 119, 416 ● Alignment Accuracy [3σ, nm]: 200, 500, 1000, 2000 |
|---|---|
| 용도 | ● Patterning 형성을 위한 Mask 제작용 |
장비담당자정보
| 장비담당자명 | 강창구 | 장비담당전화 | 063-570-3706 |
|---|---|---|---|
| 장비담당부서 | 방사선기기연구부 | 장비담당직위 | 선임연구원 |
| 장비담당팩스 | 063-570-3748 | 장비담당메일 | cgkang@kaeri.re.kr |