예약 신청
기본정보
장비사진 | 장비명(한글) | 스핀 도포 시스템 | |
---|---|---|---|
장비명(영문) | Spin coater & Heater | ||
장비분류 | 반도체공정 | ||
도입년도 | 2015 | ||
NTIS번호 | |||
장비위치 | 방사선기기FAB. | 장비상태 | 사용가능 |
기본사용료(천원) | 전문가의뢰 | NO | |
장비사진파일 | 37스핀 도포 시스템.JPG (74297 byte) |
상세정보
사양 | ● Size: piece to 6 under diameter ● Rotation Speed: 0 to 50 ~ 5,000 rpm (±0.1 rpm) ● Vaccum input -450 ~ -650 mmHg ● Hot plate을 이용한 Photoresist drying ● 자체 UPS를 장착하여 공정중 샘플의 손상을 방지 |
---|---|
용도 | ● 반도체 lithography용 photoresist 도포 장치 ● 반도체 lithography용 Photoresist drying 장치 |
장비담당자정보
장비담당자명 | 강창구 | 장비담당전화 | 063-570-3706 |
---|---|---|---|
장비담당부서 | 방사선기기연구부 | 장비담당직위 | 선임연구원 |
장비담당팩스 | 063-570-3748 | 장비담당메일 | cgkang@kaeri.re.kr |